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鍍鋅風(fēng)管主要作用有哪些類型呢？
（1）一般排氣：其來源于機(jī)臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)熱產(chǎn)生不含有害物質(zhì)或是高溫氣體，但考慮無塵室空調(diào)負(fù)荷與過濾裝置負(fù)荷，因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。注：GEX采用鍍鋅螺旋風(fēng)管，HEX采用SUS304酸排（SEX）、堿排（AEX）。
（2）酸堿性排氣：其主要來源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過Scrubber中水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
（3）有機(jī)溶劑排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用有機(jī)溶劑清洗過程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
